FUJIMicroxbaudXdataBUUP=)) 0e, -%, . /..,/- 0N,,-.< dataUU4ө0l<l=̊Lz=`/Ԡ LDpppB@dataSUU2<~~<<>f>``|ff|<```<>ff>>ff>|``|fff8<<``lxlf8<fkc|ffffdatasUUff>|f```>`<|~ffff>fff<ck>6f< x~ 0~<~~<~x|nf8x8JdatauUU-I,Ln-Ln,,LnLyLL9LILLLrLLL\LL LLLL݇datavUULLBH qh``̩Π˅   ˪`  / /LVdatasUUHHЍЍЩЍЍЩ t! ԈЩЩРH ԈЭЭЍ ԩ Ѝ hh(@Щ Ѝ Э(datauUUЭЍЩ:Щ>ЩЩЩ;Щ3ЩЩЩЩM`@UUPUUPUTUUPUU@UUEUU@j@j@@"datauUU@oo@o@FU@oF@@o@datavUU @@okoPV@ZUT[対@P@@kF@@datauUUF@@Vk@kooj@@@j@UU@@UUPUTUHdatauUUUPUUQUUPUUEUU@**""_UU__Yojoi""_UU__YojoiEdatatUU/oeUUooe/od/od/od/odojoh""_UU__Yojoi""_UU__YijidataxUUi*UUjUTUT Ѝ Ѝ Ѝ Ѝ Щ"$&ЍЩЍЍЩЩЩЩԩ` ppM datauUU pp pp7ppM ADp$*>]>>[>* @@`@u(6X( .>\:58php`8datauUUpipzu;???  px|8p8|x@Ѝ Ѝ Ѝ Ѝ Щ"$&ЍЩЍЍЩЩЩЩԩ`datawUU | ԩ>/10 ڧ C%L B-b&&))Lƨ`px|8BdatasUUp8|x@ @ԩԠIEttttto+058`$" &$" data~UU`D <ҌҩҘ ҍҩdҍҩҩ҈`$%  "#`WHdatauUU"# # ! ! !"    # !#" $datauUU% &' &'" () #,  !$%() ! ! $%  ! - kdatasUU #  #   #  "# $%$%# &'&'  ()`datauUU " ./()  !  &'&'"# $%$%$%()#()&' #()# ! $datasUU! 9@C <"&ک  <6C+0C0*C5ک < <6C+02datauUUC0*C5إCi@C8i989ɭЉ98LVҩUҩ@ҩ5ҩLLD ҩ <datavUU <D < ) )Ȋi !& )Ȋi5L'ҌҌҌҌ/LdatauUUL ~ LL HH%Hҍҍҍҩ"#Ј@ ԍԍҩө˅̩ͩ΢:datauUUˈ(Ω؅̱͑ˈөԍ`}} {{ pp }} }}}}}{{{{{{{{{{{{}}}datavUUT'TT'p3pp3p3pp3JJJJJJT'TT'T'TT'JJJJJJJJJJJJT'TT'T'TT'JJJJJJJJJJJJ}IdatauUU}}}}}}}}}}}                 datauUU                            datavUU~ j ^~ ~~qk_qkqqqk_xk @HQUQHWdatasUU qkqkkqk_k_T T"ҹ,ҹ6LГqJqSq^qdq^qSJS^d^SqJqSq^qdq^qSS^dqd^(datavUU 4 `e `ЍЍЩ"/ЈLIpxpphqqXrrHss8tt(uuvvwwwpxx`yyPzzdatauUUͩ΅Щ(υ : ˹ ̠˪~ ͽ x!(ѥi(΅ͥi(ЅLW /ԍ@ԩ0 1"  FdatavUU1 8AL L 4 @{L:LHN/``ppDppDPDppDDPppD{DA  .`datauUUD &'27::FH    ! "#$%() *+,-./01B345689;<<2datatUU=>?@AGDECG &'&'  !() () !&'H*+# !()G&'datayUUH*+# !()G%zLDgLM zL jLM҈$%L ЌЌЌРo/ЩdataxUUԩЍ Ѝ Ѝ Щ@Щ`ЩЩЩg`L/`LK/)ҹdatavUUnL"#l"Zޏ foWx$wDN #=]Q|UѝU3'e~2*)$֯I0G[R;ޖunWqȏ3datauUU'0H`x  8Ph(@X p0H`x ԩ"8datauUU#4$%`Tbp~۩@L,b=uZjp|]datasUU_gUYp|\WgZUYp\WgZZUiZTTeeZjjZEVVZ@PUeiZjjZpdatauUUZZU@TTdeZjZYYYTdeiFFUQ@@TeFEED@@@TdE@@@@Tdata}UU?_m@@ =?_]ef@P 5]Uf@PPUf@PdatauUUQU@PPAQ@P@Q@P@Q@P@QQ@PP_datauUU@QP@PPP@@PP@@@@@uUu@@PpPW]u]Uge@PPpT]}5]ogJdatatUUii@PPTuv5UWei@PTd 55YZWUifjTTYjjTUeijTTeYYijUeiYTeYiidatauUUUeifTeYiiTeiieUTdYiTeiedUTdeUiTeddTTddYTeTTd datauUU ˙蓱͙藱ϙ蛈`-=??=6;?eiYZn||Z5Vjdd\oZZUAEUUUjijmdatatUUVEAAAQdeVZZjjZQA@AQeeUUYZjjiUQA@@QUUieUTYUYijjUEA@AUieUTUeiZUYiiUE@@ieTPUidatawUUYiiP@@@iieTTeYiYeeTTT@ddTPTTPP ]jjpp#datauUUppP==56fjY\T56fVAUfi\\fUQAAfiPUQAAQVeTPQA@AVePdatauUUTQA@AAQUPPTdQ@AAQP@PPd@AA@@PPd@A@PTdT @PPdataxUU P=m֦ijٕTTTp6]^V]jiuuZZjvvUvVEAUYjjvuvzVAAEV]jjZVVEAdatayUUAQWjjYUZjVEAAUTjjYUZjjVEAAQUTUjjZYjUAA@AQUTTeijjYYiQA@ADeTPTeiiYUBdatatUUZ@@dTUeiiYY@dTTeiYdTTdeTP˅ͅ`ii``EdatauUU ?_?|@6=? iiWW= gWTPU55 eWPPYYjiUUdatawUUiedTTYYijjYUiiedTZYeijjYUiiYUTP@iYUijjYUiiYUTYTeiiUieUTUdatatUUTeiYdeUTeYeT TiUWPjjY$datauUUT\|0iUTdTPUTdTPiUTdTPeiiUdTTeiiUdata|UUdTTeiUTTeYT }U]]QPP@@~ fiuD@Tt\TTP@v ijiYw@datauUUeTTP@ZY?ijie@T\P@ZjZijjYUĩdT\pjjYijjYUieUUD@jjYYijjjUiieUUD@jjiYUeijjiU@datauUUiYUUD@jjiYUYjjYUieUTD@@iiYDZjYYTD@@iYZYYU@@YU@@datauUU G@TTTT%T%T%TMTMTMTuTuTuTTTTŢTŢTŢTTTTTTT=T=T=A˄ͩdataxUU Τ͹Li̅ ͥi`w 芑芑L˙͙ϙ`˙Г͙ЗϙЛ`kdatauUU &ꩢ0datauUU( PFGGFGFPթn#`" L!!ҭҩҬ ҩҬ# datasUU!Ү BL HlAFҩdatazUU( L­1fL LL.LfNˍҍҭL: :LdataxUU!`L©$%LL, `datauUU *datauUU      datayUU                          datawUU                         datauUU                         datavUU                    cdatasUU         0/:/26,!34.)4%0)2!43+/5+/0)),%'!,.)/"*%$.!6+902)*)-!&)2-!+ 3/=datauUU&40/"/8"2%#,!6GppR?A?!"!"!""!!""!!"!""!@datauUU"!!"!"!!!"!!"!""!"!""!"!!"! !!!!! """!!datawUU"!!"!"!! ""!   "     !" "!       datauUU    !datauUU!"! !"!"!"!"!   datavUU           ! "!datavUU"! !"!! !!"!datavUU  !"!!" "!    datavUU      "!  datavUU! "! "              "   !adatauUU!""!! !" !""!!!hdatasUU!" !"!   "!"!!"!!""datavUU "!!""!""!"!!"!"""!!"!    " datavUU           "    ""!"!!""datauUU  !!" !"!        datavUU  !   "!!   "" !!"    " ""!"!"! datavUU "!!!!"" !"!"!"!!!"!"hdatasUU  !""!!"!""!   "   !   !  !  datavUU        "! !"!"!!"!"!!"!""!""!!"!!"!"! !!""! !""datauUU!"!! !"!!" !"!!"!"!"!!""!""!""!"!!  !"!  ""    !"   1datauUU       "!  ! !!"!""!!" !""!!"!!"!""!!""!""!!"!  "!!""!!  !!"!"dataxUU  "!"!!"  !"!""!   ""!!"   !!"!"!!"!"!""!!"!!""!""!  !""datauUU !""!""!"!"!"!!!!"""!"!!"!!""!!""!"!!"!!"" !""!!"!!" "!!hdatauUU"!!"!! ""!!"!!"!!""!!""!!"!"pp DLpAK`&'&'  ()#./() "datauUU# "# F  ! !  ! , G%N%˅P d VѤѹ   HdatauUUѹ< K  ѹ -  1 ѥLMLLM ??4;?P_PG???4;?PG???4;?P_PG??G?PdatauUU@ҍL Tbp~@L"8"/LVL8 LHNEdatauUU ()  ()  u%:=\_b e h7"#?-01 !=>./"datasUU=>"# !   u<B^g   "#?-23./=>  u%:_bedatavUU "#?-45*+ !  uU^g  "#@datauUU?- 6 !  u%:_b e "#?-78  !  uddatatUU\_beh "#?-9123=> '   u%[^adgj datawUU "#?-:;  !() !  u%\_eh  datayUU"#?./,()"# !  u7=\b h  "#?.sdatasUU/- ()   u%7:=\_ b e h"#?././ !() !()datavUU  uU 6<?[ad g j "#?./01=> "#  u%<[^adgjdatatUU "#?./23 !()()"#   udatawUU3 9?EX^ dj     ! "#  ! u% :  \ h ԍԩdataxUU#/ލ0?1CCԩCCCC???ɖ?MDL/_͑ψȱˍ6datasUUȱˍȱˍ Șeː̅ˠL\aȱ˨i̅L,aԍ$d% b `5yyyyyyyy``yy``QQyyidatauUUyy``QQ<<QQ<<//((//((yy``QQ<<//((QQ//((//<<QQ<<//((<<QQ//``<<QQ<<yyQQ<<((//QdatasUUQ<<QQLci(̅˥uLcf1 eTbp~Lfԩ@ԩXf {d`PdatauUU@TTTT%T%T%TMTMTMTuTuTuTTTTŞTŞTŞTTTTTTT=T=T=AfHHH Ԉ ꩐ ԍ Ԡ Ԉ ԍ datawUUԠ Ԉ ԍ Ԡ Ԉ͍ hhh(@)!ѩϙЈЩԦѩ1˩̥Lg i ˈLgi̥8GdatatUU Lfѩ>/ 2o#  LlMLLcg LgLg LgL=hL`g %h!L`g" [datauUUˌL`g1L`g +h!L`g" ˌL`gL`g 1h!L`g" ̌8 L`gL`g 7datavUUh!L`g" ̌i L`g)`)`)` )`Lhn )))""PL/gdatauUU)HGhLo nL/gѹ)#L/gPm#ͩ΢i΅Lh Πޠͪ))2datauUU" !" ȓ>>>>ȗ>>>>ț>>>% TdatasUU LlMLLj LjL9k LLcjn )))܍""PL j nLio%# ddatayUUL/gѹѭL j mm""PL܂ѹѭL j mdatauUUmͩ""PL܂8(΅`i(΅`ѹ8 ѭL j  datatUU235 i4 NiթГЗЛ !kz ͪ(ͪ+ ""PL܂!)v datawUULPmȹLPmP"LPm)v LPmͥLPmP"LPmԓdatasUUГЗԓԗЗЛԗԛЛ蓙ԛ쓙蓹藙쓹엙藹蛙엹웙蛩` l l  l`LlLHl ̙datavUU lLPm~#"LPmL~M6o ̽nomn)Lm ̽mm datauUUˍЍiЍLoUUTT UU/datauUUTTMЍЍЍЍ01bRS datasUUTbp~Lxhf1XP"o#l"Lo%``data~UUM6o ̽noˍiЩ%Lf1XP"m#l"F 3datauUU    $% !    '$%  !dataxUU ! ! ! "#  !$%() ! () ! dataxUU !() !  !$%  !()*+   !*+  datasUU ! "#    $% !()  $% !datavUU () !     "#   =>"&#()mdatauUU ! ! ! ! "# !"#      $% !SdatauUU !  $% ! !  $% !  !=> !"# ! !  !=> !"#datasUU ! !  => !"# ! !  =>./=>"# !()  =>./=>"# ! !=>./=>";datauUU# !()  ./=>() () !  $%datavUU ! !  $% ! !  $% ! !  ! ydatasUU  "#!  !"#   () "# ! datazUU $% !     !  "#() "# !  dataxUU$% !() () ! ./=>  ! "#! datasUU !"# "# ! "#  "#  "# !"#  !data{UU ! !  !T&'H*+# !() G+<??}uWXlDdatauUU/?%9WeTh*?7?UTT)==jWU\T-5&7i}vXT)=5/WwdatauUU}UYd   ̙ 235 i4 NiթГddatasUUЗЛ̩8 "m# !kz ͪ(ͪ+PSLPm(+P"m#LPm ̙ datauUU XLPm#"LPm蛙웹엙蛹藙엹쓙藹蓙쓹ԛ蓹ЛԛԗЛЗԗԓЗГԓГ` datawUU    ` ԩ????ZoU|T/datauUU??5??}hT7-=]VUfh|tTd=-?]uYmTTTh@@  ̙#datasUU 235 iЅ4 Niթ蓙藙蛈̩8F"m#(z ͪ+PͪS -datazUUkLPm(+P"m# -kLPmC qCEEL EȱC L4!LPԩ !@ԩ8 T8 F1`fdatauUU%Q`%`LxȈLC!G#P(Z-x?@AGDECG8ppDDP@DDDDȜDȜDȜDDDDDDD@D@D@DhDhDh@@D(DxAprtvx  pqrst datawUUH) h8Tʈh` ! ,,@01./ .024 79:,-/135681;ʏԏ` dataxUU!"! !"!"!"!"!datauUU            !datauUU "!"! !"!! !!"!datauUU  !"!!""! datawUU     datavUU   "!  ! "! "    datazUU       "   !!""!! $datasUU!" !""!!!!"!"!datavUU   "!"!!"!!"" "!!!""!""!"!!"datawUU!""""!!"!    "        datavUU  "    ""!"!!"" datavUU!!" !"!        !   "!!   """ !!"  datauUU  " ""!"!"!  "!!!!!"" !"!_datauUU"!"!!!"!" !""!!"!""!   "   datauUU!  !  !       "! !"!"!!"!"!!!"!""!""!!"!datavUU!"!"! !!""! !"""!"!! !"!!" !"!!!"!"!"!!!""!""!"""!"!!  !"!  ""    !" datawUU         "!  ! !!"!""!!" !""!!"!!!"!""""""!!""!""!!!!"!  "!!""!! datavUU !!!"!"  "!"!!"  !"!""!   ""!!!"   !!"!"!!"!"!""""!!"!!""!""!  !""datatUU !""""!""!"!"!"!!!?*dataxUU***UUUUUUUUUUdataxUU*j*j*k꾯*kZdatasUU*k꾯WW*k꾯WW*k꾯datavUU*k꾯*k꾯*kidatavUU*ki*k~*k~datavUU*k꾯*k꾯j*ijjZUiHdatauUU*ijZUi*j**1datauUU**UUUUUUUUUU datasUUTpppppppppppppNAaԍԍa01"/Ԡ {datauUULD Lt/LiM L -data UU``̩Π˅ T J T˪` J TDC \LLw`Lݸ~data UU